NEXIV VMZ-K3040

Konfokales Videomesssystem

Das Nikon NEXIV VMZ-K3040 ist ein bahnbrechendes konfokales Videomesssystem mit einem breiten Anwendungsspektrum. Ausgestattet mit Hellfeldobjektiven mit 15-fach Zoom, Konfokaltechnik und einem TTL-Laser ermöglicht es in extrem kurzer Zeit, hochpräzise, zwei- und dreidimensionale Prüfungen durchzuführen. Unabhängig davon welche Geometrien gemessen werden sollen, das konfokale NEXIV-System eignet sich besonders für simultane Weitwinkel-Höhenmessung an hochentwickelten IC-Gehäusen, wie beispielsweise Wafer-Level-CSP, sowie für die Prüfung hochkomplexer Strukturen an MEMS und Sondenkarten.

Hauptmerkmale

  • Messvolumen: 300 x 400 x 150 mm
  • Auflösung Konfokaleinheit (Höhe): 0,01 µm  bei max. 1mm Scanhöhe
  • Wiederholgen. bei Höhenmessung (2σ): 0,2 – 0,6 µm (je nach Optik)
  • Genauigkeit Optik: U1X/Y=1,5+2,5L/1000 µm; U2X/Y=2,5+2,5L/1000 µm; U1Z=1+L/1000 µm  (L in mm)
  • Fünf verschieden Objektive zur Auswahl
  • TTL-Laser
  • Vollständig kompatibel für die Prüfung von 300 mm Wafern
  • Max. Probengewicht: 20 kg

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