Infrarot-Mikroskopie mit Nikon Eclipse LV-, L200- und L300-Mikroskopen
Was im sichtbaren Licht verborgen bleibt, wird im Infrarot sichtbar. Silizium wird oberhalb von etwa 1.100 nm durchlässig – so lassen sich Strukturen unter der Oberfläche oder durch die Wafer-Rückseite zerstörungsfrei inspizieren. Mit den Nikon Eclipse Industriemikroskopen setzen Sie IR-Mikroskopie vom 4″- bis zum 12″-Wafer um.