Eclipse L300N / L300ND

Hochauflösende Inspektion von Wafern bis 300 mm – flexibel und erweiterbar

Die Nikon Eclipse L300N/ND sind Inspektionsmikroskope für Wafer bis 300 mm und große elektronische Bauteile. Erstklassige Nikon-Optik und ein modularer Aufbau machen sie zur flexiblen Lösung für Qualitätskontrolle und Entwicklung.

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Eclipse L300N / L300ND

Maximale Präzision und Flexibilität mit dem Nikon Eclipse L300N

Das Nikon Eclipse L300N ist ein hochpräzises Auflichtmikroskop für die Inspektion von Wafern bis 300 mm (12 Zoll) und anderen großen Proben. Das L300ND bietet zusätzlich Durchlicht. Die CFI60-2-Optiken liefern hochauflösende Bilder und ermöglichen genaue Untersuchungen auch bei schwierigen Proben. Zur Verfügung stehen verschiedene Kontrastverfahren wie Hellfeld, Dunkelfeld, DIC, Polarisation und Auflicht-Fluoreszenz. Serienmäßig ist ein motorisierter Objektivrevolver verbaut. Dank des modularen Aufbaus lässt sich das System flexibel an spezifische Anforderungen anpassen, etwa mit einem motorisierten XY-Tisch oder einem Z-Motor.

Hauptmerkmale

CFI60-2 Optiken für brillante Bildqualität

Die Nikon CFI60-2 Optiken bieten außergewöhnlich hohe Auflösung und hervorragenden Kontrast, was präzise und aussagekräftige Materialanalysen ermöglicht. Durch diese optische Leistung werden auch feine Strukturen und Details in Proben klar und zuverlässig sichtbar.

Vielseitige Kontrastmethoden

Das Mikroskop unterstützt vielseitige Kontrastverfahren wie Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation und Differntialinterferenzkontrast (DIC) um unterschiedlichste Materialstrukturen gezielt sichtbar zu machen. Damit eignet es sich für eine breite Palette an Anwendungen von der Qualitätskontrolle bis zur Forschung.

Modularer Aufbau und Erweiterbarkeit

Der modulare Aufbau des Systems erlaubt es, das Mikroskop durch motorisierte Tische, Z-Motoren und zusätzliche Beleuchtungseinheiten genau an die Anforderungen anzupassen. So kann das System bei veränderten Aufgaben oder neuen Prüfanforderungen problemlos erweitert werden.

Nachrüstbar für Infrarot-Mikroskopie (NIR)

Mit IR-Objektiven und einer passenden IR-Kamera lassen sich die L300N und L300ND für die Infrarot-Mikroskopie aufrüsten. Da Silizium für nahes Infrarot durchlässig ist, werden verborgene Strukturen, Bondverbindungen, Risse oder Justiermarken sichtbar. Und das zerstörungsfrei und direkt durch den Wafer.

Robust und zuverlässig

Das Mikroskop wurde speziell für den industriellen Einsatz entwickelt und bietet eine hohe Zuverlässigkeit sowie lange Lebensdauer unter anspruchsvollen Bedingungen. Dadurch eignet es sich ideal für tägliche Nutzung in Forschung, Entwicklung und Produktion.